双温区高温炉-上海韵通(商家)

高温炉操作规程

1 准备工作a，检查电源线接触是否---b，检查连接线是否正常c，检查冷却水是否正常d，检查密封性是否正常e， 准备所需工具：无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘2 开炉a，打开主电源开关b， 向炉体充ya气至---压，打开炉体前门，取下石墨盖板c， 将输送车开关打至 outd， 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物3装料a，将石墨坩埚放置于输送车平台上，使用限位杆确定其位置，依次装入硅料。b、拔出限位杆，输送车开关打至 in，依次操作 up - forward - back - down，将坩埚装入炉膛内，并确定输送车会到初始位置。c、装入石墨盖板，拧紧石墨螺栓，关紧炉门4 抽气a、检查炉门是否关紧，真空系统是否密封b、置 dp 按钮于 dp on，打开干式真空泵，打开真空计开关 p1g1，打开干式真空泵 。阀门，开始抽气测试泄漏率，c、当压力表指示为 50pa是关闭真空泵阀门（非真空泵）露铝≤1pa/min，打开ya气阀门充ya气（20l/min）。加热 先打开水环泵 再按 run，开始工艺加热。冷却a、加热结束后，按工艺条件进行冷却。