管式炉-上海韵通 -管式电炉

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    2024-5-13

李同生
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如何选择管式炉?

1、了解您的应用程序

单区与多区:多区炉具有多个独立控制的恒温区,管式电炉,允许受控的温度梯度或较长的加热区。

水平(标准)与垂直:垂直管炉提供较小的占地面积,可用于快速加热/淬火过程

rtp(快速热处理):可滑动的样品保持器或加热炉

高压/真空炉:特殊设计的高温高压真空处理用不锈钢或高温合金管

旋转管式炉:加热过程中旋转管以提高粉末加工/涂层均匀性

气体处理能力:可用于氢气处理和高温腐蚀研究的特殊模型

多功能:基于管式炉的完整系统,如cvd、pecvd、hpcvd、ald、石墨烯和2d材料生长系统等








当管式炉使用惰性气体时需要注意的问题

1. 接通工作气体气路,将管式炉气体出口端联接机械泵。

2. 当管式炉真空表到-0.1(指针到止境时),关闭出气阀,关闭进气阀。

3. 翻开管式炉进气阀,管式炉,合上真空泵电源,翻开出气阀(留心把住法兰,避免炉管受力过大),抽暇刚玉管和气体管路。

4. 管式炉气压表当气压稳守时,关闭管式炉进气阀,翻开出气阀,抽真空到-0.1,关管式炉出气阀。

5. 逆时针旋动旋钮开气瓶主阀,顺时针旋动旋钮,缓慢翻开出口减压阀,使出口气压在0.004mpa(2小格)。

6. 逆时针旋动旋钮,小型试验管式炉,缓慢翻开管式炉进气阀;亲近留心管式炉气压表,供认气压在0.08mpa以下(如气压高于0.08mpa,旋转管式炉,翻开管式炉出气阀放气)。

7. 重复4、5步两次。

8. 关机械泵,翻开管式炉进气阀。








管式炉也是实验电炉的一种,它的装卸料采用间歇式手动装、卸料。装料时将料盒放置在料盆支架上,打开并取出炉管一端的密封端盖,放入带料盒的料盒支架,再将密封端盖安装在炉管法兰上并拧紧卡箍螺栓。然后通入工艺气氛,直到炉管内氧含量达到工艺要求时进行升温烧结。产品烧结工艺完成后,应继续通人小量的工艺气氛并进行降温,直到炉内温度低于工艺要求时,方可打开炉管密封端盖取出产品。





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